MEMS SENSOR AND METHOD OF FORMING A SENSOR DEVICE

摘要

본 발명에 따른 센서 장치를 형성하는 방법 및 시스템은, 실리콘 온 인슐레이터(SOI) 웨이퍼의 소자 층 내에 면내 전극을 한정하는 단계와; 소자 층의 상부 표면 위에 위치되는 실리콘 덮개 층 내에 면외 전극을 형성하는 단계와; 실리콘 덮개 층의 상부 표면 상에 실리사이드-형성 금속을 증착하는 단계와; 증착된 실리사이드-형성 금속을 어닐링하여 실리콘 덮개 층 내에 실리사이드 부분을 형성하는 단계를 포함한다.