发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF D'ANALYSE DE LA SURFACE D'UN SUBSTRAT |
摘要 |
<p>Procédé d'analyse d'une surface d'un substrat spéculaire (2) comprenant : - une acquisition d'au moins une image d'une mire (10) produite par réflexion sur ladite surface, la mire présentant un motif périodique de zones sombres et claires ; - un calcul de la dérivée de la phase locale dans une direction en des points de l'image à partir de l'image acquise; - un calcul de grandeurs représentatives de grandissements locaux dans une direction en des points de l'image à partir de la dérivée de la phase; - un calcul de puissances optiques locales à partir desdites grandeurs représentatives de grandissements locaux ; - un calcul de profil d'altitude à partir des puissances optiques locales.</p> |
申请公布号 |
FR3015033(A1) |
申请公布日期 |
2015.06.19 |
申请号 |
FR20130062601 |
申请日期 |
2013.12.13 |
申请人 |
SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE |
发明人 |
DAVENNE FRANC;MILAN MATTHIEU;PERROTTON CEDRIC |
分类号 |
G01N21/55;G01B11/30;G06T7/00 |
主分类号 |
G01N21/55 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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