| 发明名称 |
BACKPLATE ELECTRODE SENSOR |
| 摘要 |
<p>본 발명은 통합된 센서들을 갖는 전기기계 시스템(EMS) 디바이스 패키지들을 위한 시스템들, 방법들 및 장치를 제공한다. 일 양상에서, 패키징된 EMS 디바이스 내의 전극들은 하나 이상의 용량성 센서들을 형성하기 위해 EMS 디바이스 패키지 내의 다른 기판 상에 배치된 전극과 관련하여 사용될 수 있다. 용량성 센서는 EMS 디바이스 패키지 내의 기판들의 상대적인 변형들을 결정하는데 사용될 수 있고, 용량성 센서는 차례로 압력, 터치, 질량 또는 충격 측정 시스템의 부분으로서 사용될 수 있다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150068430(A) |
申请公布日期 |
2015.06.19 |
| 申请号 |
KR20157011745 |
申请日期 |
2013.10.08 |
| 申请人 |
QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
MEADOR JAMES C.;TCHERTKOV IGOR |
| 分类号 |
B81B7/02;G01D5/241;G01L9/00;G01L13/00;G01L19/04;G01P15/125;G02B26/00;G06F3/044;G09G3/34 |
主分类号 |
B81B7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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