| 摘要 |
프로브 카드의 반송 스테이지에의 탈착을 용이하게 행할 수 있는 프로브 카드 장착 방법을 제공한다. 웨이퍼 검사 장치(10)에서, 반송 스테이지(18)를 이동시켜 스테이지측 카메라(28) 및 테스터(15)측에 배치된 테스터측 카메라(16)를 서로 대향시켜 기준 위치를 확정하고, 스테이지측 카메라(28)에 의해 테스터(15)의 핀 마크(24)를 확인하여 기준 위치로부터 테스터(15)에서의 포고 프레임(19)의 중심까지의 제 1 거리를 확정하고, 테스터측 카메라(16)에 의해 반송 스테이지(18)에 장착된 프로브 카드(20)의 타겟 마크(32)를 확인하여 기준 위치로부터 프로브 카드(20)의 중심까지의 제 2 거리를 확정하고, 확정된 기준 위치, 제 1 거리 및 제 2 거리에 기초하여 반송 스테이지(18)를 이동시켜 프로브 카드(20)를 포고 프레임(19)에 대향시킨다. |
