SILICON INCORPORATED DIAMOND-LIKE CARBON FILM, FABRICATION METHOD THEREOF, AND ITS USE
摘要
<p>본 발명은 실리콘 함유 다이아몬드상 카본 박막, 그 제조 방법 및 용도에 관한 것으로서, 상기 실리콘 함유 다이아몬드상 카본 박막은 내부 및 표면에 실리콘을 함유한 다이아몬드상 카본 박막의 표면에, 상기 박막 표면에 존재하는 탄소 및 규소 원자와 상기 박막의 표면에 친수성을 부여하는 원자 (A) 사이의 화학 결합이 있는 것을 특징으로 한다.</p>
