发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
摘要 <p>Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements (100–500), umfassend: Bereitstellen eines Trägers (15), Bereitstellen eines Halbleiterchips (14) mit einer ersten Fläche (11) und einer der ersten Fläche (11) gegenüberliegenden zweiten Fläche (12), wobei eine Paste (30), die Metallteilchen (13) umfasst, auf den Träger (15) und/oder die erste Fläche (11) des Halbleiterchips (14) aufgetragen wird, Platzieren des Halbleiterchips (14) über dem Träger (15), wobei die erste Fläche (11) dem Träger (15) zugewandt ist, und Anlegen einer Spannung zwischen der zweiten Fläche (12) des Halbleiterchips (14) und dem Träger (15) zum Anbringen des Halbleiterchips (14) an dem Träger (15), wobei die Spannung derart eingestellt wird, dass die Metallteilchen (13) gesintert werden.</p>
申请公布号 DE102009039227(B4) 申请公布日期 2015.06.18
申请号 DE20091039227 申请日期 2009.08.28
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 NIKITIN, IVAN
分类号 H01L21/58;H01L23/14 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人
主权项
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