Mit akustischen Wellen arbeitender Resonator mit Unterdrückung störender Nebenmoden

摘要

Mit akustischen Volumenwellen arbeitender Resonator, mit einer Schichtenfolge, enthaltend:–einen unteren Schichtbereich, der eine erste Elektrode (E1) umfaßt,–einen oberen Schichtbereich, der eine zweite Elektrode (E2) umfaßt,–eine piezoelektrische Schicht (PS), die zwischen der ersten und zweiten Elektrode (E1, E2) angeordnet ist,–bei dem zwischen der ersten und zweiten Elektrode die Entstehung einer stehenden akustischen Plattenwelle möglich ist, welche in lateraler Richtung durch eine laterale Wellenzahl kx charakterisiert wird, die in zumindest einem Frequenzbereich einen reellen Anteil Re{kx}≠0 aufweist,–bei dem die piezoelektrische Schicht (PS) aus einem Material besteht, das ein anomales Dispersionsverhalten zeigt, wobei die akustische Plattenwelle, die durch eine reelle oder komplexe laterale Wellenzahl Re{kx}≠0, |Re{kx}| > |Im{kx}| charakterisiert ist, in der piezoelektrischen Schicht (PS) eine niedrigere Frequenz aufweist als die akustische Plattenwelle, die durch eine laterale Wellenzahl Re{kx} = 0, Im{kx} = 0 charakterisiert ist, und–bei dem die Materialauswahl und das Dickenverhältnis der einzelnen Schichten in der Schichtenfolge so eingestellt sind, daß die Schichtenfolge insgesamt ein normales Dispersionsverhalten zeigt, indem die Gesamtschichtdicke der beiden Elektroden (E1, E2) auf einen Wert eingestellt ist, der ein x-faches der Schichtdicke der piezoelektrische Schicht (PS) beträgt, wobei für alle Dickenverhältnisse x gilt, dass sich für Werte größer gleich x im Resonator wieder ein normales Dispersionsverhalten einstellt.