孔板电极扫描式掩膜电解加工装置

摘要

本实用新型公开了一种孔板电极扫描式掩膜电解加工装置，包括机架、工作台(1)、孔板电极(4)、侧板(6)、支撑板(8)、电源(9)，工作台设置在机架上并可沿水平面在X、Y方向移动，机架上设置有驱动工作台移动的水平驱动部件，机架上设置有可沿Z方向移动的主轴(10)以及驱动主轴的竖直驱动部件，孔板电极、侧板和支撑板通过螺钉(5)相互连接形成一个工作液容腔，工作液容腔通过进液管(7)与工作液源连接，孔板电极位于工作液容腔底部，支撑板位于工作液容腔顶部，支撑板上面与主轴固定连接，电源的正极与工作台(1)上的工件相连，负极与孔板电极(4)相连。本实用新型的加工均匀性好，适用于大面积微结构的连续加工。

主权项

一种孔板电极扫描式掩膜电解加工装置，其特征在于：包括机架、工作台(1)、孔板电极(4)、侧板(6)、支撑板(8)、电源(9)，所述工作台(1)设置在机架上并可沿水平面在X、Y方向移动，机架上设置有驱动工作台(1)移动的水平驱动部件，所述机架上设置有可沿Z方向移动的主轴(10)以及驱动主轴的竖直驱动部件，所述孔板电极(4)、侧板(6)和支撑板(8)通过螺钉(5)相互连接形成一个工作液容腔，工作液容腔通过进液管(7)与工作液源连接，孔板电极(4)位于工作液容腔底部，支撑板(8)位于工作液容腔顶部，所述支撑板(8)上面与主轴(10)固定连接，所述电源(9)的正极与工作台(1)上的工件相连，负极与孔板电极(4)相连。