偏光膜的缺陷检测装置以及方法

摘要

本发明提供偏光膜的缺陷检测装置以及方法。偏光膜的缺陷检测装置的特征在于具有：接收部，其接收由自动光学检查机检查出的针对偏光膜的检查结果；以及检测部，其分析所述检查结果，检测偏光膜的缺陷，所述检测部根据缺陷类型(Defect Type)、ΔX(Dx)、ΔY(Dy)、面积(Area)、密度(Density)、尺寸(Size)、峰值(Peak)、厚度(Thickness)中的两个以上的参数，判别所述偏光膜的缺陷形态是接合异物、接合气泡、异物、亮点、刮痕、集群性亮点、一条线中的至少任意一种。

主权项

一种偏光膜的缺陷检测装置，其特征在于，该偏光膜的缺陷检测装置具有：接收部，其接收由自动光学检查机检查出的针对偏光膜的检查结果；以及检测部，其分析所述检查结果，检测偏光膜的缺陷，所述检测部根据缺陷类型、ΔX、ΔY、面积、密度、尺寸、峰值、厚度中的两个以上的参数，判别所述偏光膜的缺陷形态是接合异物、接合气泡、异物、亮点、刮痕、集群性亮点、一条线中的至少任意一种。