发明名称 用于检验带有斜面的物体的方法及系统
摘要 一种检验系统和方法。该方法可以包括:用第一偏振的入射光照射物体;执行(a)多重反射光信号的基于偏振的滤波,每个多重反射光信号从物体的至少两个不同的倾斜侧面被反射,以及执行(b)附加光信号的基于偏振的滤波,每个附加光信号从物体的一个单独的元件被反射,从而抑制多重反射光信号和提供基于偏振的滤波光信号;以及,检测基于偏振的滤波光信号。
申请公布号 CN102445418B 申请公布日期 2015.06.17
申请号 CN201110293912.9 申请日期 2011.08.10
申请人 卡姆特有限公司 发明人 Z·本-埃泽尔
分类号 G01N21/21(2006.01)I;G01N21/15(2006.01)I 主分类号 G01N21/21(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 王朝辉
主权项 一种用于检验带有斜面的物体的方法,包括:用第一偏振的入射光照射物体;执行(a)多重反射光信号的基于偏振的滤波,每个多重反射光信号从物体的至少两个不同的倾斜侧面被反射,以及执行(b)附加光信号的基于偏振的滤波,每个附加光信号从物体的一个单独的元件被反射,从而抑制多重反射光信号和提供基于偏振的滤波光信号;以及检测基于偏振的滤波光信号。
地址 以色列米格达勒埃梅克