温度控制装置、应用其的投影曝光装置及温度控制方法

摘要

本发明提出一种温度控制装置，用以控制一元件的温度。温度控制装置沿气体流向包括减压阀、涡流管、喷嘴。减压阀连接至气体输入接口，气体经过气体输入接口进入温度控制装置，减压阀调节气体气压并输出。涡流管包括入口、冷端和热端，入口连接至减压阀，涡流管处理气体后，分别从冷端和热端输出气体。喷嘴连接至冷端，输出气体对元件进行喷吹。控制器电性连接至减压阀，用以控制减压阀的输出的气体气压。一种具有温度控制装置的投影曝光装置及温度控制方法也一并提出。本发明提出的温度控制装置能够控制任何利用冷气流进行温度控制的元件，方法简洁，应用灵活。

主权项

一种温度控制装置，用以控制一元件的温度，其特征在于，包括：减压阀，连接至气体输入接口，气体经过所述气体输入接口进入所述温度控制装置，减压阀调节气体气压并输出；涡流管，包括入口、冷端和热端，所述入口连接至所述减压阀，所述涡流管处理气体后，分别从所述冷端和热端输出气体；喷嘴，连接至所述冷端，输出气体对所述元件进行喷吹；压力传感器，连接至所述涡流管的入口，用以实现对涡流管入口气体压力的监控；排气口消声器，所述涡流管热端输出的气体通过所述排气口消声器排出，涡流管热端与排气口消声器之间接入节流阀，用以对涡流管冷、热端气体输出比例进行调整；温度传感器，设置于所述元件附近，用以测量所述元件的温度，所述温度传感器连接至控制器，所述控制器依据温度测量值控制减压阀输出气体的气压；以及控制器，电性连接至所述减压阀，压力传感器，用以控制所述减压阀的输出的气体气压。