一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置

摘要

本发明涉及单晶硅生产设备技术领域，特别涉及一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置，包括提升杆、提升滑套、托板、支臂和连接杆，所述提升滑套设在提升杆外部，提升杆与提升滑套可相对滑动，所述托板、支臂和连接杆组成卡托机构，卡托机构设置在提升杆和提升滑套的周向且均匀分布形成三爪卡托，该装置可以安全快速且省力的取出单晶炉坩埚，在取出过程中保护坩埚不被损坏。

主权项

一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置，包括提升杆、提升滑套、托板、支臂和连接杆，其特征在于：所述提升滑套设在提升杆外部，提升杆与提升滑套可相对滑动，所述托板、支臂和连接杆组成卡托机构，所述组成卡托机构的托板顶部两边设有拉杆，拉杆顶端设有拉杆横杆，连接杆与拉杆横杆上面中间设置的凸起活动铰接，托板顶端中间设有与支臂活动铰接的凸起，所述提升杆上部外壁周向设有三个均布的第一铰接凸起，提升滑套外壁周向设有三个均布的与提升杆第一铰接凸起方向对应的第二铰接凸起，进一步的组成卡托机构的连接杆与提升杆上部的第一铰接凸起铰接，组成卡托机构的支臂与提升滑套的第二铰接凸起铰接，更进一步的所述托板、支臂和连接杆组成的卡托机构数量为三个，每个组成卡托机构的连接杆和支臂均与对应的第一交接凸起、第二铰接凸起铰接。