一种固体润滑膜层及其制备方法

摘要

本发明涉及一种固体润滑膜层及其制备方法。本发明的固体润滑膜层从内到外依次包括位于基件上的TiN过渡层、TiNC过渡层、TiC过渡层和钨掺杂类金刚石层。其制备方法采用全方位离子注入与沉积技术，其工艺简单，沉积过程易于控制，工艺稳定性好。该方法直接将待处理工件浸泡在等离子体中，然后在工件上施加负高压脉冲电压来实现工件表面的离子注入与沉积强化处理，其克服了传统束线离子注入和沉积的直射性限制，同时由于高能离子的轰击而使得所沉积的膜层具有优异的致密性和结合力，因此特别适用于航天航空用精密复杂零部件的表面润滑和强化处理，可满足探测器活动部件面对复杂环境下的长寿命、高可靠性的应用需求。

主权项

一种固体润滑膜层，其特征在于，其从内到外依次包括位于基件上的TiN过渡层、TiNC过渡层、TiC过渡层和钨掺杂类金刚石层。