| 发明名称 | 下电极装置以及等离子体加工设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种下电极装置以及等离子体加工设备，其包括用于承载被加工工件的承载件；该承载件采用导电材料制作，并且在承载件上表面的不同区域之间存在高度差。本发明提供的下电极装置，其通过使承载件上表面的不同区域之间存在高度差，即，使承载件上表面的不同位置与地之间的距离不同，可以调节各个区域的电场强度，以补偿在各个区域之间存在的电场强度的差异，从而可以使等离子体相对于承载件上表面的各个区域的分布趋于均匀，进而可以提高工艺的均匀性，改善工艺结果。 | ||
| 申请公布号 | CN104715996A | 申请公布日期 | 2015.06.17 |
| 申请号 | CN201410163430.5 | 申请日期 | 2014.04.22 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 张璐;张彦召;陈鹏 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 彭瑞欣;张天舒 |
| 主权项 | 一种下电极装置，其特征在于，包括用于承载被加工工件的承载件；所述承载件采用导电材料制作，并且所述承载件上表面的不同区域之间存在高度差。 | ||
| 地址 | 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 | ||