自动化检验情境产生

摘要

本发明呈现在无需来自用户的输入的情况下确定检验情境的方法及系统。检验情境包含至少一个获取模式、缺陷检测参数值及分类参数值。在一个实例中，通过晶片表面的热检验而确定某一数目个缺陷事件。分类所述缺陷事件且识别与每一缺陷事件关联的属性。以此信息标记所述缺陷事件。基于所述经识别的属性及分类而确定检验情境。所述检验情境为由所述经识别的属性形成的数学空间内的解。在一些实例中，确定多个检验情境且从所述多个选择所要检验情境，所述选择基于所述数目个所关注缺陷及由所述所选检验情境捕获的某一数目个公害事件。

主权项

一种方法，其包括：接收某一数量的经标记缺陷数据，所述经标记缺陷数据包含多个缺陷事件、与所述多个缺陷事件中的每一者关联的分类及与所述多个缺陷事件中的每一者关联的多个属性；及在无需来自用户的输入的情况下基于所述经标记缺陷数据而确定多个检验情境，每一检验情境包含与所述检验情境关联的获取模式、缺陷检测算法参数值及分类算法参数值。