发明名称 |
半导体结构 |
摘要 |
本发明涉及一种绝缘隐埋层中有带电区的衬底。本发明特别涉及一种半导体结构,包括:连续包括基底晶片(1)、绝缘层(2)和半导体顶层(3)的衬底,所述半导体顶层(3)上的图像传感器器件,所述半导体结构的特征在于,所述绝缘层(2)包括电荷密度的绝对值在10<sup>10</sup>电荷/cm<sup>2</sup>以上的区域。 |
申请公布号 |
CN102983167B |
申请公布日期 |
2015.06.17 |
申请号 |
CN201210480105.2 |
申请日期 |
2008.03.13 |
申请人 |
SOITEC公司 |
发明人 |
F·阿利贝尔;G·戈丹;F·拉勒芒;D·朗德吕;K·朗德里;M·沙欣;C·马聚 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L29/32(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
北京戈程知识产权代理有限公司 11314 |
代理人 |
程伟;王锦阳 |
主权项 |
一种半导体结构,包括:‑连续包括基底晶片(1)、绝缘层(2)和半导体顶层(3)的衬底,‑所述半导体顶层(3)上的图像传感器器件,所述半导体结构的特征在于,所述绝缘层(2)包括电荷密度的绝对值在10<sup>10</sup>电荷/cm<sup>2</sup>以上的区域,以及所述绝缘层(2)包括两个扩散阻挡层(6)之间的电荷限制层(5),其中所述电荷限制层(5)的电荷密度的绝对值在10<sup>10</sup>电荷/cm<sup>2</sup>以上。 |
地址 |
法国贝尔尼 |