| 发明名称 |
圧力センサ、圧力センサを有するセンサプローブ、センサプローブを有する医療装置、及びセンサプローブを製造する方法 |
| 摘要 |
A pressure sensor includes a flexible membrane deformable in response to pressure. The flexible membrane covers a cavity and includes a strain gauge that produces signals corresponding to deformation of the flexible membrane. The flexible membrane is a flexible monolithic integrated circuit foil. |
| 申请公布号 |
JP5734652(B2) |
申请公布日期 |
2015.06.17 |
| 申请号 |
JP20100522485 |
申请日期 |
2008.08.19 |
| 申请人 |
コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ;ネイダーランゼ オルガニザティー ボー トゥーゲパスト−ナ トゥールウェテンシャッペルーク オンダーツォーク ティーエヌオー |
发明人 |
デッケル ロナルド;ファン デル フラーフ フレデリク;フェルタイス ヨハネス エフ エム;ハールトセン ヤコブ アール |
| 分类号 |
G01L9/00;A61B5/0215;G06K19/07;H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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