基板搬运装置、基板搬运方法和记录程序的记录介质

摘要

提供一种当将基板的周缘部存在缺口的基板用夹具保持并搬运时，能够高精度地检测基板位置的偏移量，能够容易地修正该偏移量，并且同时确认夹具的状态并进行修正的基板搬运装置。包括：基座；设置成从基座进退自如，保持基板的保持部；当保持部以保持有基板的状态后退时，在各个不同的位置检测保持部所保持的基板的周缘部的位置的4个以上的检测部；和基于检测部检测出的周缘部的位置的检测值，对检测部的任一个是否检测到基板的周缘部的设置有缺口的部分进行判定，在判定为一个检测部检测到设置有缺口的部分时，基于一个检测部以外的3个检测部的检测值，在搬运到下一个处理单元时对处理单元的基板的交接位置进行修正的控制部。

主权项

一种基板搬运装置，其特征在于，包括：基座；设置成从所述基座进退自如，保持基板的保持部；当所述保持部以保持有基板的状态后退时，在各个不同的位置对所述保持部所保持的所述基板的周缘部的位置进行检测的4个以上的检测部；和基于所述检测部检测出的所述周缘部的位置的检测值，对所述检测部的任意个是否检测到所述基板的周缘部设置有缺口的部分进行判定，在判定为一个检测部检测到所述设置有缺口的部分时，基于所述一个检测部以外的3个检测部的所述检测值，在搬运到下一个处理单元时对所述处理单元的基板的交接位置进行修正的控制部，所述保持部以上下重叠的方式设置有多个，所述检测部各自由一对光源和受光部构成，该受光部是由多个受光元件排列而成的线列图像传感器，后退的所述保持部所保持的基板的任一个均被所述一对光源和受光部从上下夹着。