贴合装置以及叠层体制造装置;BONDING APPARATUS AND STACK BODY MANUFACTURING APPARATUS

摘要

本发明的一个方式的目的之一是提高贴合两个构件的制程中的良率。一种贴合装置，包括：能够支撑薄片状的第一构件的载物台；以薄片状的第二构件与第一构件重叠的方式能够固定第二构件的一个端部的固定机构；以及在加压扩张第一构件与第二构件之间的黏合层的同时，从第二构件的一个端部一侧向另一个端部一侧移动的加压机构，其中，贴合第一构件与第二构件。