基板调温装置及使用了基板调温装置的基板处理装置

摘要

提供一种基板调温装置，其系可在基板处理装置之腔室内以短时间进行基板之温度的变更，并可提高腔室内之基板处理的自由度。一种基板调温装置(100)，其系可在基板处理装置之腔室内，将基板(S)调温成相对低温的第1温度与相对高温的第2温度，该基板调温装置(100)，系具备有：载置台(10)，在内部形成有冷媒流路(41)；基板升降单元(20)，使基板(S)在载置台(10)上的第1位置及载置台(10)之上方的第2位置之间升降；冷却单元(40)，将冷媒供给至冷媒流路(41)，并在第1位置将基板(S)调温成第1温度；加热单元(30)，从载置台(10)侧射出可被基板(S)吸收之波长的光，并加热位于第2位置的基板(S)，而调温成第2温度；及光透过窗(50)，设于载置台(10)内，且透过从加热单元(30)射出的光。