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发明名称
检测系统及其检测方法
摘要
一种检测系统包含有一检测机、复数探针组、一资料输入装置、一控制器、一储存器及一资料输出装置。其中,该检测机具有一承台及一检测臂,该承台用以供待测物置放,该检测臂可相对该承台移动;该等探针组设于该检测机上,且至少一探针组位于该检测臂上以与该待测物接抵;该资料输入装置系用以输入该待测物的资料者。该控制器与该检测臂、该检测臂上之探针组及该资料输入装置电性连接,用以依据资料控制该检测臂移动至预定位置,并使探针组与该待测物接抵进行电性检测;该储存器储存电性检测结果,并透过该资料输出装置输出。
申请公布号
TW201522987
申请公布日期
2015.06.16
申请号
TW102146122
申请日期
2013.12.13
申请人
旺矽科技股份有限公司 MPI CORPORATION
发明人
顾伟正 KU, WEI CHENG;吕绍玮 LU, SHAO WEI;魏豪 WEI, HAO;王友泽 WANG, YU TSE
分类号
G01R31/01(2006.01);G01R1/073(2006.01)
主分类号
G01R31/01(2006.01)
代理机构
代理人
廖钲达
主权项
地址
新竹县竹北市中和街155号1至3楼 TW
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