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노광 장치는, 광학 부재의 주위의 적어도 일부에 배치되는 제 1 부재와, 광학 부재의 주위의 일부에 배치되는 제 2 부재를 포함하고, 액체의 액침 공간을 형성 가능한 액침 부재와, 제 1 부재에 대해 제 2 부재를 이동시킬수 있는 구동 장치와, 구동 장치를 제어하는 제어 장치를 구비한다. 제어 장치는, 동일한 열에 포함되는 제 1 쇼트 영역의 노광 종료로부터 제 2 쇼트 영역의 노광 개시까지의 기판의 제 1 이동 기간에 있어서의 제 2 부재의 제 1 동작과, 어느 열의 제 3 쇼트 영역의 노광 종료로부터 다른 열의 제 4 쇼트 영역의 노광 개시까지의 기판의 제 2 이동 기간에 있어서의 제 2 부재의 제 2 동작이 상이하도록 구동 장치를 제어한다. |
