发明名称 电性检测机台
摘要 一种电性检测机台,包含一机台、一承台、一探针架、一支架、一检测臂、一安置座及复数探针组。该机台具有相平行之二第一导轨;该承台设于该机台上;该探针架设于该机台上,且具有复数个设置区;该支架设于该二第一导轨上,且可相对该机台与该承台移动,并具有一第二导轨;该检测臂设于该第二导轨,且位于该承台上方,并可与该支架同步移动及相对该支架移动;该安置座设于该检测臂上,且可相对该检测臂转动或移动;其中一探针组设于该安置座,而其他探针组则分别设于该探针架之设置区;另外,设于该安置座上之探针组可与该安置座同步移动。
申请公布号 TW201522986 申请公布日期 2015.06.16
申请号 TW102146115 申请日期 2013.12.13
申请人 旺矽科技股份有限公司 MPI CORPORATION 发明人 顾伟正 KU, WEI CHENG;吕绍玮 LU, SHAO WEI;宋宏志 SUNG, HUNG CHIH;陈俊男 CHEN, CHUN NAN
分类号 G01R31/00(2006.01);G01R31/02(2006.01) 主分类号 G01R31/00(2006.01)
代理机构 代理人 廖钲达
主权项
地址 新竹县竹北市中和街155号1至3楼 TW