具高速振动单元的雷射加工装置

摘要

本发明为一种具高速振动单元的雷射加工装置，其具有雷射光源，雷射光源发出雷射光束的路径上设有高速振动单元，以提供沿平行于雷射光束之轴向的振动效果，使得雷射光束之焦点与工件的交会处产生轴向变化，以增加雷射光束对工件的加工深度，进而增加产品良率并提高生产效率。