| 摘要 |
노광 장치는, 광학 부재 (13) 와 기판 (P) 사이의 액체 (LQ) 를 통하여 노광광으로 기판을 노광하는 노광 장치로서, 장치 프레임 (8B) 과, 광학 부재를 포함하는 광학계와, 광학 부재의 주위의 적어도 일부에 배치되는 제 1 부재 (21) 와, 광학 부재의 주위의 적어도 일부에 배치되는 제 2 부재 (22) 를 포함하며, 액침 공간을 형성할 수 있는 액침 부재 (5) 와, 제 2 부재를 제 1 부재에 대해 이동시킬 수 있는 구동 장치 (56) 와, 그것을 사이에 두고 제 1 부재가 장치 프레임에 지지되는 방진 장치 (55) 를 구비한다. |
