APPARATUS FOR PRODUCING TRICHLOROSILANE AND METHOD FOR PRODUCING TRICHLOROSILANE
摘要
<p>반응로의 하부로부터 도입되는 염화수소 가스를 반응로의 상부에 있어서도 유효하게 반응에 기여시켜, 반응 효율을 높인다. 트리클로로실란 제조 장치에서는 반응로 내로 공급된 금속 실리콘 분말을 염화수소 가스에 의해 유동시키면서 반응시키고, 이 반응에 의해 생성된 트리클로로실란을 반응로의 상부로부터 취출한다. 반응로의 내부 공간에는 복수개의 가스류 제어 부재가 상하 방향을 따라 설치되어 있다.</p>
