输送及处理基板之装置与方法

主权项

一种基板处理系统，包括：一长形基板输送腔，具有一经抽气段及一大气段；一第一直线轨道，固着在该输送腔之经抽气段；一第二直线轨道，固着在该输送腔之大气段；一第一基座，在该第一直线轨道上沿线移动；一第二基座，在该第二直线轨道上沿线移动；一减速器，设于该第一基座上，并具有一磁性耦合跟随器作为其输入，并提供一较低转速于其输出；一旋转马达，设于该第二基座上，以转动一磁性驱动器，该磁性驱动器穿过一真空隔板提供一旋转运动至该磁性耦合跟随器；及一机械手，耦合至该减速器之输出。