| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Polymerisation einer Zusammensetzung enthaltend Hydridosilane und anschließenden Verwendung der Polymerisate zur Herstellung von siliziumhaltigen Schichten umfassend folgende Schritte: a) Bereitstellung eines Substrats. b) Bereitstellung einer Zusammensetzung enthaltend wenigstens ein Hydridosilan, das entweder in mindestens einem organischen und/oder anorganischen Lösungsmittel gelöst ist oder enthaltend wenigstens ein Hydridosilan, das ohne Lösungsmittel bereits flüssig vorliegt, wobei die Hydridosilane wenigstens ein lineares und/oder verzweigtes Hydridosilan der allgemeinen Formel SinH2n+2 mit n ≥ 3 und/oder ein zyklisches Hydridosilan der allgemeinen Formel SinH2n mit n ≥ 3 umfassen. c) Polymerisation der Zusammensetzung aus Schritt b) mittels akustischer Kavitation. d) Beschichtung der Oberfläche des Substrats mit Reaktionsprodukten aus Schritt c). Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung zur Polymerisation einer Zusammensetzung enthaltend Hydridosilane und anschließenden Verwendung der Polymerisate zur Herstellung von siliziumhaltigen Schichten, umfassend wenigstens einen Reaktionsbehälter (1) beinhaltend eine Zusammensetzung enthaltend wenigstens ein Hydridosilan, das entweder in mindestens einem organischen und/oder anorganischen Lösungsmittel gelöst ist oder wenigstens ein Hydridosilan, das ohne Lösungsmittel bereits flüssig vorliegt, wobei die Hydridosilane wenigstens ein lineares und/oder verzweigtes Hydridosilan der allgemeinen Formel SinH2n+2 mit n ≥ 3 und/oder ein zyklisches Hydridosilan der allgemeinen Formel SinH2n mit n ≥ 3 umfassen und/oder beinhaltend die zuvor genannte Hydridosilanlösung oder das reine flüssige Hydridosilan, denen wenigstens Mono- und/oder Disilan- und/oder ein Borhaltiger Dotierstoff und/oder Phosphorhaltiger Dotierstoff und/oder Edelgas aus der Gruppe Ar, He und/oder Nanopartikel und/oder ein Polymerisationsinitiator und/oder ein Katalysator und/oder oberflächenspannungsmodifizierende Mittel zugesetzt werden und eine Ultraschallquelle oder einen Schallwandler (4) zur Erzeugung akustischer Kavitation und/oder Kapillarwellen, wobei der Reaktionsbehälter (1) wenigstens eine verschließbare Öffnung (6) aufweist und das zu beschichtende Substrat (8) gegenüber der Öffnung (6) angeordnet ist und das Substrat (8) an der Fläche, die von der Beschichtungsfläche abgewandt ist, eine Heizquelle (9) aufweist. |
