发明名称 |
用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置 |
摘要 |
一种用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置,包括遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄、挡块、钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖。钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成第一保护结构;遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成第二保护结构。根据本发明的用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置,采用了双重保护结构,挡玻璃置于腔室保护监测装置座内腔,在观察玻璃与真空腔室之间形成间隔,构成第一重保护。遮板置于真空腔室内,遮蔽腔室保护监测装置视口,构成第二重保护。 |
申请公布号 |
CN104694902A |
申请公布日期 |
2015.06.10 |
申请号 |
CN201510120799.2 |
申请日期 |
2015.03.19 |
申请人 |
中国建材国际工程集团有限公司 |
发明人 |
彭寿;魏晓俊;官敏;惠建秋;谷天奇;王海林;杨黎虹;蒋鸿;于涛;赵永 |
分类号 |
C23C14/54(2006.01)I;C23C14/52(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/54(2006.01)I |
代理机构 |
上海硕力知识产权代理事务所 31251 |
代理人 |
王法男 |
主权项 |
一种用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置,包括遮板(1)、密封圈(2)、快卸连接器(3)、磁流体密封件(4)、卡环(5)、手柄(6)、挡块(15)、钢丝挡圈(8)、挡玻璃(9)、密封圈(10)、观察玻璃(11)、橡胶垫圈(12)和法兰盖(13),其特征在于,钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成第一保护结构;遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成第二保护结构。 |
地址 |
200061 上海市普陀区中山北路2000号中期大厦27层 |