一种化学机械研磨液配置优化的方法

摘要

本发明提供了一种化学机械研磨液配置优化的方法，该方法包括：选定化学机械研磨的工艺条件，并获取晶圆特性数据和当前研磨液配置数据；通过高分子参考作用点模型，获取研磨颗粒吸附状态数据；判断所述研磨颗粒吸附状态数据是否满足物理吸附状态标准；如果否，调整所述当前研磨液配置数据，调整后返回获取研磨颗粒吸附状态数据的步骤；如果是，以所述当前研磨液配置数据作为研磨液配置优化数据，并利用研磨液配置优化数据配置得到优化的研磨液。利用本发明提供的方法进行化学机械研磨液配置优化，使得优化过程简化，在保证研磨后吸附在晶圆表面上的研磨颗粒易于清除的同时，还能使化学机械研磨液的工艺优化成本和周期都得以降低。

主权项

一种化学机械研磨液配置优化的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：步骤A：选定化学机械研磨的工艺条件；步骤B：根据选定的工艺条件，获取晶圆表面研磨时的材质作为晶圆特性数据，并获取预设的研磨液中研磨颗粒的种类、大小、浓度及电荷分布和表面活性剂的种类、大小、浓度及电荷分布作为当前研磨液配置数据；步骤C：根据所述晶圆特性数据和所述当前研磨液配置数据，通过高分子参考作用点模型，获取与所述当前研磨液配置数据对应的研磨颗粒吸附状态数据；步骤D：判断所述研磨颗粒吸附状态数据是否满足物理吸附状态标准，如果否，进入步骤E，如果是，进入步骤F；步骤E：调整所述当前研磨液配置数据，并将调整后的研磨液配置数据作为所述当前研磨液配置数据；进入步骤C；步骤F：以所述当前研磨液配置数据作为研磨液配置优化数据，并利用研磨液配置优化数据配置得到优化的研磨液。