一种带舱外微调机构的真空光学实验系统

摘要

本发明一种带舱外微调机构的真空光学实验系统具有：抽气装置的第一支撑架、真空舱的第二支撑架置于隔振平台垂直面对应的位置，第一支撑架上端放置抽气装置；第二支撑架上端放置真空舱；隔振平台置于每个空气弹簧上；每个空气弹簧的下端面置于地面上；垫块、舱外调节装置位于隔振平台上；光源、紫外单色仪位于在对应的垫块上；每个真空泵的吸气口与抽气装置、真空管、真空舱对应的抽气口连接；光源、抽气装置、紫外单色仪、连接器件及真空舱的连接口与对应真空管的端口连接；舱外调节装置的舱外连接部连接在隔振平台上；舱内连接部的连接端与真空舱通过波纹管连接，被测光学结构与舱内连接部连接，在真空舱外调节被测光学结构在真空舱内移动。

主权项

一种带舱外微调机构的真空光学实验系统，其特征在于包括：光源、抽气装置、紫外单色仪、连接器件、多支真空管、真空舱、舱外调节装置、多台真空泵、隔振平台、多只空气弹簧、两个垫块；其中：光源具有一连接口；抽气装置具有抽气口和第一支撑架；真空舱的侧壁上具有连接口、抽气口和第二支撑架；抽气装置、紫外单色仪和连接器件的两端都含有连接口；真空管具有端口和抽气口；第一支撑架放置于靠近隔振平台的垂直面的位置，且第一支撑架与隔振平台的垂直面平行；第一支撑架的上端放置抽气装置，第一支撑架的下端放置于地面上并垂直于地面；第二支撑架放置于靠近隔振平台的垂直面的位置，且第二支撑架与隔振平台的垂直面平行；第二支撑架的上端放置真空舱，第二支撑架的下端放置于地面上并垂直于地面；隔振平台的下平面置于每个空气弹簧的上端面上；每个空气弹簧的下端面置于地面上；每个垫块、舱外调节装置的下平面分别位于隔振平台的上平面对应的位置上并固定连接；光源、紫外单色仪位于在对应的垫块上并固定连接；每个真空泵的吸气口分别与抽气装置、真空管、真空舱对应的抽气口连接；光源、抽气装置、紫外单色仪、连接器件及真空舱的连接口分别与对应真空管的端口连接，用于形成细长光通路和细长光通路的真空环境；舱外调节装置包括舱外连接部和舱内连接部；舱外连接部的上表面位于隔振平台的上表面上并固定连接；舱内连接部的两个连接端与真空舱对应的内壁通过波纹管连接，被测光学结构置于舱内连接部的上表面上并固定连接，舱外调节装置用于在真空舱外调节被测光学结构，使被测光学结构在真空舱内移动。