发明名称 一种氧化铝抛光液的制备方法
摘要 本发明涉及一种氧化铝抛光液的制备方法,首先将氧化铝粉末经搅拌分散于酸性水溶液中,形成酸性氧化铝分散液;然后加热搅拌条件下,滴加硅酸盐水溶液,滴加完毕后停止加热;继续搅拌陈化即得;在氧化铝分散液的基础上,通过引入硅酸盐,利用硅和铝间独特的亲和作用,在氧化铝颗粒表面形成部分硅原子替代、电荷反转,从而有效提高氧化铝抛光液的悬浮稳定性,而与此同时不影响抛光性能。
申请公布号 CN103589344B 申请公布日期 2015.06.10
申请号 CN201310567464.6 申请日期 2013.11.14
申请人 上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明人 王良咏;刘卫丽;宋志棠
分类号 C09G1/02(2006.01)I 主分类号 C09G1/02(2006.01)I
代理机构 上海光华专利事务所 31219 代理人 许亦琳;余明伟
主权项 一种氧化铝抛光液,由所述氧化铝抛光液的制备方法制得,包括以下步骤:(1)将氧化铝粉末经搅拌分散于酸性水溶液中,形成酸性氧化铝分散液;所述氧化铝粉末的粒径为0.01‑40μm;所述酸性氧化铝分散液中氧化铝的浓度为0.1~40wt%,pH值为1~4;(2)加热搅拌条件下,滴加硅酸盐水溶液,滴加完毕后停止加热;所述硅酸盐水溶液的浓度为0.1~5wt%;常压搅拌加热并保持沸腾,然后以1~200mL/min的速率加入硅酸盐水溶液;所述硅酸盐水溶液和所述酸性氧化铝分散液的质量之比为1:2~1:100;所述硅酸盐的通式为M<sub>2</sub>O.SiO<sub>2</sub>,其中M为Li<sup>+</sup>、Na<sup>+</sup>、K<sup>+</sup>或NH<sub>4</sub><sup>+</sup>;(3)继续搅拌陈化即得;所述搅拌陈化的时间为0.5‑24小时。
地址 201506 上海市金山区金山工业区天工路285弄2幢