一种带有吹气辅助装置的退火腔体

摘要

本实用新型提供了一种带有吹气辅助装置的退火腔体，包括：一腔体；设置于腔体内的移动平台，供放置带有所需退火材料的基板；以及设置于腔体内且位于移动平台上方的吹气辅助器，用以连接位于腔体外并提供惰性气体的一吹气气源，其中，吹气辅助器上排布有多个吹气通孔，且多个吹气通孔的作用范围大于或等于基板的板面面积。本实用新型解决了现有传统吹气装置效果不佳的问题，并通过大面积集中化吹气使得退火腔内的氧浓度迅速降低，以缩短退火工艺所花费的时间。本实用新型的优点：结构简单，效果明显。

主权项

一种带有吹气辅助装置的退火腔体，其特征在于，包括：一腔体；设置于所述腔体内的移动平台，以供放置基板，所述基板带有需进行退火的材料；以及设置于所述腔体内且位于所述移动平台上方的吹气辅助器，用以连接位于所述腔体外用以提供惰性气体的一吹气气源，其中，所述吹气辅助器上排布有多个吹气通孔，且所述多个吹气通孔的作用范围大于或等于所述基板的板面面积。