发明名称 WIRE SAW APPARATUS, AND CUT-MACHINING METHOD
摘要 <p>와이어 쏘우(wire saw) 장치(1)는, 복수의 와이어 가이드(2)에 나선상(狀)으로 감긴 절단용 와이어(3)를 주행시킴과 동시에 와이어 가이드(2)와 함께 절단용 와이어(3)를 요동(搖動)시키면서, 절단용 와이어(3)에 피(被)가공물(W)을 접촉시켜 절단가공을 행한다. 와이어 쏘우 장치(1)는, 피가공물(W)이 원호상(圓弧狀)의 가공형상을 갖도록, 피가공물(W)을 유지하는 유지수단(51)의 위치를 절단용 와이어(3)의 요동각도에 따라 제어하는 제어장치(8)을 구비한다.</p>
申请公布号 KR20150064214(A) 申请公布日期 2015.06.10
申请号 KR20157012722 申请日期 2012.10.15
申请人 TOYO ADVANCED TECHNOLOGIES CO., LTD. 发明人 SHOJI IMAKURUSU;TOSHIMITSU IWAI;JUN OHYA;MASARU FUKUMAN
分类号 H01L21/78;B23D57/00;B24B27/06;H01L21/304 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
地址