| 发明名称 | SiO<sub>2</sub>-TiO<sub>2</sub>系玻璃的制造方法和由该玻璃构成的光掩模基板的制造方法 | ||
| 摘要 | 一种SiO<sub>2</sub>-TiO<sub>2</sub>系玻璃的制造方法，其通过直接法在靶上制造SiO<sub>2</sub>-TiO<sub>2</sub>系玻璃，其中，该制造方法包括坯锭成长工序，即将硅化合物和钛化合物供给至氢氧火焰中进行火焰水解，由此在靶上成长出规定长度的SiO<sub>2</sub>-TiO<sub>2</sub>系玻璃坯锭，该坯锭成长工序具有：第1工序，其中，随着SiO<sub>2</sub>-TiO<sub>2</sub>系玻璃坯锭的成长而缓慢地增加钛化合物的供给量相对于硅化合物的供给量的比率直到达到规定的值；和第2工序，其中，在第1工序中比率达到规定的值后，在将比率保持在恒定的情况下使SiO<sub>2</sub>-TiO<sub>2</sub>系玻璃坯锭成长。 | ||
| 申请公布号 | CN104703929A | 申请公布日期 | 2015.06.10 |
| 申请号 | CN201380048244.0 | 申请日期 | 2013.09.12 |
| 申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 吉成俊雄 |
| 分类号 | C03B8/04(2006.01)I;C03B20/00(2006.01)I;G03F1/60(2006.01)I | 主分类号 | C03B8/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 丁香兰;庞东成 |
| 主权项 | 一种SiO<sub>2</sub>‑TiO<sub>2</sub>系玻璃的制造方法，其通过直接法在靶上制造SiO<sub>2</sub>‑TiO<sub>2</sub>系玻璃，其中，该制造方法包括坯锭成长工序，即将硅化合物和钛化合物供给至氢氧火焰中进行火焰水解，由此在所述靶上成长出规定长度的SiO<sub>2</sub>‑TiO<sub>2</sub>系玻璃坯锭，所述坯锭成长工序具有：第1工序，其中，随着所述SiO<sub>2</sub>‑TiO<sub>2</sub>系玻璃坯锭的成长而缓慢地增加所述钛化合物的供给量相对于所述硅化合物的供给量的比率直到达到规定的值；和第2工序，其中，在所述第1工序中所述比率达到所述规定的值后，在将所述比率保持在规定的范围内的同时使所述SiO<sub>2</sub>‑TiO<sub>2</sub>系玻璃坯锭成长。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||