在线式涂敷装置、在线式涂敷方法以及隔板

摘要

本发明提供一种批量生产性优异、并且可以对工件施加适合的偏压的在线式涂敷装置、在线式涂敷方法以及隔板。在线式涂敷装置(10)具有：涂敷部(12)，其具有排列好的多个涂敷材料(121、122、123、124)，用于涂敷工件(W)；输送部(13)，其在涂敷部中以使多个工件与多个涂敷材料相对的方式输送工件；电压施加部(14)，在输送工件并使工件与涂敷材料相对时，其用于向工件施加偏压以使从涂敷材料释放出的微粒被工件吸引，电压施加部可在工件与一个涂敷材料相对时和该工件与其他涂敷材料相对时对工件施加不同的偏压。

主权项

一种在线式涂敷装置，其中，其具有：涂敷部，其具有排列成列的多个涂敷材料，用于对工件进行涂敷；输送部，其在所述涂敷部中以使多个所述工件与所述多个涂敷材料相对的方式输送多个所述工件；以及电压施加部，在输送所述工件并使所述工件与所述涂敷材料相对时，其用于向所述工件施加偏压以使所述工件吸引从所述涂敷材料释放出的微粒，所述电压施加部能够在所述工件与一个所述涂敷材料相对时和该工件与其他涂敷材料相对时对所述工件施加不同的所述偏压。