具有非周期性光栅的垂直腔表面发射激光器

摘要

本发明的各种实施例是针对具有腔的表面发射激光器的，所述腔包括至少一个单层、非周期性亚波长光栅，在一个实施例中，一种表面发射激光器包括：光栅层（112），其被配置成具有非周期性亚波长光栅（122）；反射层；以及发光层（102），其被布置在光栅层与反射器之间。所述非周期性亚波长光栅被配置成具有光栅图案，所述光栅图案控制一个或多个内部腔模式的形状，并且控制从所述表面发射激光器发射的一个或多个外部横模的形状。

主权项

一种表面发射激光器，包括：光栅层（112），其被配置成具有非周期性亚波长光栅（122），所述光栅包括光栅图案，所述光栅图案由多个光栅子区域构成，每个光栅子区域包括许多规则间隔的有形状的部分，在每个光栅子区域内的有形状的部分具有相对于多个光栅子区域中的其它光栅子区域不同的选择的周期和占空比；反射层；以及发光层（102），其被布置在所述光栅层与反射器之间，其中所述亚波长光栅和所述反射器形成谐振腔，以及所述光栅通过所述光栅图案被配置成对一个或多个内部腔模式进行整形并且对从所述表面发射激光器发射的一个或多个外部横模进行整形。