| 摘要 |
本発明は薄層（ＣＩＧＳ、Ｍｏ）を含む光電池セル（Ｃ１、Ｃ２）の接続を形成する観点から薄層を取り扱う方法に関し、その薄層は少なくとも第２層（Ｍｏ）に堆積された光電池特性を有する第１層（ＣＩＧＳ）と、基板（ＳＵＢ）に堆積された金属接触層である第２層とを備えており、特に、第２層（Ｍｏ）を露出するために第１の幅（Ｌ１）を有する少なくとも１つの第１のトレンチを第１層（ＣＩＧＳ）にエッチングするステップと、基板を露出するために、第１の幅（Ｌ１）より小さい第２の幅（Ｌ２）を有する第２のトレンチを前記第１のトレンチにエッチングするステップとが行われる。【選択図】 図２ |
