| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCING CARBON MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05155687(A) |
申请公布日期 |
1993.06.22 |
| 申请号 |
JP19910348217 |
申请日期 |
1991.12.04 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
INOUE TORU;OTANI HISASHI;MIYANAGA SHOJI |
| 分类号 |
C23C16/24;C23C16/27;C30B25/08;C30B29/04 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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