| 发明名称 |
一种掩模板 |
| 摘要 |
本实用新型公开了一种掩模板，用以解决掩模板被击穿的问题。所述掩模板包括：衬底上的透光区域和遮光区域，所述遮光区域设置有至少两个相互独立的导电遮光条，还包括：位于透光区域连接各导电遮光条的一条或多条接地导线，该接地导线的宽度为0.01～0.28μm。 |
| 申请公布号 |
CN204374607U |
申请公布日期 |
2015.06.03 |
| 申请号 |
CN201520054764.9 |
申请日期 |
2015.01.23 |
| 申请人 |
山西大同大学 |
发明人 |
高志翔;刘艳红;屈文山;董丽娟;刘丽想;杨春花;石云龙 |
| 分类号 |
G03F1/26(2012.01)I;G03F1/54(2012.01)I |
主分类号 |
G03F1/26(2012.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种掩模板，包括：衬底上的透光区域和遮光区域，所述遮光区域设置有至少两个相互独立的导电遮光条，还包括：位于透光区域连接各导电遮光条的一条或多条接地导线，其特征在于，该接地导线的宽度为0.01～0.28μm。 |
| 地址 |
037009 山西省大同市兴云街山西大同大学固体物理研究所 |
