用于结合材料的方法和系统

摘要

本发明提供了一种用于将填料材料结合到衬底材料上的方法。该方法包括在坩埚的熔化室中熔化填料材料，使得填料材料被熔化。坩埚具有流体地连接在熔化室上的出口。该方法还包括通过跨坩埚的出口施加第一压力差而将填料材料保持在坩埚的熔化室中，并通过跨坩埚的出口施加第二压力差而从坩埚的熔化室中释放出填料材料，以将填料材料传送至衬底材料的目标部位。第二压力差具有与第一压力差不同的值。

主权项

一种用于将填料材料结合到衬底材料上的方法，所述方法包括：在坩埚的熔化室中熔化所述填料材料，使得所述填料材料被熔化，所述坩埚具有流体地连接在所述熔化室上的出口；通过施加跨所述坩埚的出口的第一压力差从而将所述填料材料保持在所述坩埚的熔化室中；和通过施加跨所述坩埚的出口的第二压力差从而从所述坩埚的熔化室中释放所述填料材料，以将所述填料材料传送至所述衬底材料的目标部位，其中所述第二压力差具有与所述第一压力差不同的值。