纳米级位移测量装置

摘要

本实用新型公开了一种纳米级位移测量装置，该装置包括：位置感应模块，与控制模块连接，用于感应被测对象的位置信号，并将位置信号发送至控制模块；控制模块，与驱动模块连接，用于接收位置感应模块发送的位置信号，以及接收螺旋轨道电阻发送的输出电阻值；螺旋轨道电阻，与驱动模块连接，在驱动模块的驱动下运动改变输出电阻值，以确定被测对象的当前位置值；减速模块，与驱动模块连接，用于减小驱动模块转动的转速。根据螺旋轨道电阻的输出电阻值与被测对象的位置的对应关系确定被测对象的位移，实现了对被测对象的位移的高精度测量。

主权项

一种纳米级位移测量装置，其特征在于，所述纳米级位移测量装置包括位置感应模块、控制模块、驱动模块、螺旋轨道电阻和减速模块：所述位置感应模块，与所述控制模块连接，用于感应被测对象的位置信号，并将所述位置信号发送至所述控制模块；所述控制模块，与所述驱动模块连接，用于接收所述位置感应模块发送的所述位置信号，以及接收所述螺旋轨道电阻发送的输出电阻值；所述输出电阻值用于确定所述被测对象的当前位置值，以根据被测对象的当前位置值以及被测对象的初始位置值确定所述被测对象的位移偏移量；所述螺旋轨道电阻，与所述驱动模块连接，在所述驱动模块的驱动下运动改变输出电阻值，以确定被测对象的当前位置值；所述减速模块，与所述驱动模块连接，用于减小所述驱动模块转动的转速。