一种发光薄膜、其制备方法和应用

摘要

本发明适用于半导体光电材料技术领域，提供了一种发光薄膜、其制备方法和应用。该发光薄膜，包括LiAlO₂:Ti⁴⁺，Mn⁴⁺；该Mn⁴⁺摩尔百分含量为0.006％-0.069％，该Ti⁴⁺摩尔百分含量为0.013％-0.125％。本发明的发光薄膜，通过使用铝酸锂作为发光、使用钛离子和锰离子作为发光中心，实现了发光薄膜在蓝绿光范围内的有效发光。本发明制备方法，操作简单、成本低廉，生产效益高，适于工业化生产。

主权项

一种发光薄膜制备方法，包括如下步骤：将三氧化铝、氧化锂、二氧化钛及二氧化锰混合，烧结形成溅射靶材，所述氧化锂的质量百分含量为18％‑25％、所述二氧化钛的质量百分含量为1％‑10％、所述二氧化锰的质量百分含量为0.5％‑6％，余量为所述三氧化二铝；以氢气和惰性气体的混合气体为工作气体，将所述溅射靶材利用磁控溅射成膜，得到发光薄膜前体；其中，真空度为1.0×10^‑3Pa～1.0×10^‑5Pa；基靶间距为50mm～100mm；衬底温度为400℃～750℃；气体流量15sccm～30sccm；将所述发光薄膜前体进行退火处理，得到发光薄膜。