| 发明名称 | 机电转换器件及其制造方法及液滴排出头和液滴排出设备 | ||
| 摘要 | 一种机电转换器件的制造方法，包括：在基板上形成振动板；在振动板上形成由金属制成的第一电极；在第一电极上形成由导电氧化物制成的第二电极；涂布表面改性材料，并仅对第一电极实施表面改性；在第二电极上形成机电转换膜；以及在机电转换膜上形成由导电氧化物制成的第三电极。 | ||
| 申请公布号 | CN103210515B | 申请公布日期 | 2015.06.03 |
| 申请号 | CN201180054692.2 | 申请日期 | 2011.09.05 |
| 申请人 | 株式会社理光 | 发明人 | 水上智;秋山善一;真贝胜;町田治 |
| 分类号 | H01L41/09(2006.01)I;H01L41/047(2006.01)I;H01L41/29(2013.01)I;H01L27/20(2006.01)I;B41J2/14(2006.01)I;B41J2/16(2006.01)I | 主分类号 | H01L41/09(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 王景刚 |
| 主权项 | 一种制造机电转换器件的制造方法，包括：在基板上形成振动板；在整个振动板上形成由金属制成的第一电极；在所述第一电极上形成由导电氧化物制成的第二电极；图案化第二电极以使得第二电极具有期望的图案；涂布表面改性材料，并对所述第一电极实施表面改性；在被图案化的所述第二电极上形成机电转换膜；以及在所述机电转换膜上形成由导电氧化物制成的第三电极。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||