| 摘要 |
<p>커패시터는 기판, 다수개의 제1 스토리지 전극들, 다수개의 제2 스토리지 전극들, 제1 지지막 패턴, 유전막 및 플레이트 전극을 포함한다. 상기 기판에는 다수개의 콘택 패드들이 형성된다. 상기 제1 스토리지 전극들은 상기 콘택 패드들과 각각 전기적으로 연결되며, 제1 방향과 평행한 라인들을 따라 배열된다. 상기 제2 스토리지 전극들은 상기 제1 스토리지 전극들 상에 각각 적층된다. 상기 제1 지지막 패턴은 서로 인접한 상기 제2 스토리지 전극들 사이를 상기 제1 방향과 평행한 방향을 따라 연장하며, 상기 인접한 제2 스토리지 전극들과 접촉하여 지지한다. 상기 유전막은 상기 제1 및 제2 스토리지 전극들 상에 형성된다. 상기 플레이트 전극은 상기 유전막 상에 형성된다.</p> |
