| 主权项 |
一种在一微影系统(300)的一微影系统单元(301)中处理基板(405)之方法，该微影系统单元系包括至少两个基板预备单元(360)、一包括至少第一及第二基板位置的负载锁定单元(310)、以及一用于在该基板预备单元与该负载锁定单元之间转移基板的操纵基板的机器人(401)，其中该方法系包括：提供一连串待曝光的基板(405)至该机器人，该等基板系包含一第N个基板、一在该第N个基板的前一个的第N-1个基板、以及一在该第N个基板的后一个的第N+1个基板；藉由该机器人转移(505)该第N个基板至该等基板预备单元中之一第一者；在该第一基板预备单元中的一第一基板支承结构(403)上夹箝该第N个基板，该第N个基板以及该第一基板支承结构一起构成一受夹箝的第N个基板；从该第一基板预备单元藉由该机器人转移(517)该受夹箝的第N个基板至该负载锁定单元中的该第一及第二位置中之一未被占用者，以用于在该微影系统单元中的曝光；以及在该微影系统单元中曝光该受夹箝的第N个基板。 |
