孔径光闸、光学系统、曝光装置及电子装置之制造方法

主权项

一种成像光学系统，其是将配置于第1面的物体之像形成于第2面的成像光学系统，其特征为：具有孔径光闸，该孔径光闸遮蔽通过前述成像光学系统而达到前述第2面之光束的外缘，前述孔径光闸之孔径形状的轮廓为三次元形状。