用于将电子提供到基底的装置和离子植入系统;APPARATUS TO PROVIDE ELECTRONS TO SUBSTRATE AND ION IMPLANTATION SYSTEM

摘要

在一个实施例中，一种用于将电子提供到基底的装置包含布置为螺旋波源阵列的多个螺旋波电浆源，其中每一螺旋波电浆源包括经配置以产生平行于第一轴的波向量的螺旋天线；以及经配置以产生平行于所述第一轴的磁场向量的磁体，其中每一螺旋波电浆源还经配置以产生与邻近螺旋波电浆源的磁场向量相反的相应磁场向量。; and a magnet configured to generate a magnetic field vector parallel to the first axis, wherein each helicon plasma source is further configured to generate a respective magnetic field vector that is opposite that of a magnetic field vector of an adjacent helicon plasma source.