发明名称 非挥发性记忆体
摘要
申请公布号 TWM502247 申请公布日期 2015.06.01
申请号 TW104201657 申请日期 2015.02.02
申请人 郑育明 发明人 郑育明
分类号 H01L27/115 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人 叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;詹东颖 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;刘亚君 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 一种非挥发性记忆体,包括:第一记忆胞,设置于基底上,所述第一记忆胞,包括:堆叠结构,包括依序设置于所述基底上的闸介电层、辅助闸极、绝缘层以及抹除闸极;浮置闸极,设置于所述堆叠结构的第一侧的侧壁,且所述浮置闸极的顶部具有转角部,所述转角部邻近所述抹除闸极,且所述转角部高度落于所述抹除闸极高度间;穿隧介电层,设置于所述浮置闸极与所述基底之间;抹除闸介电层,设置于所述抹除闸极与所述浮置闸极之间;辅助闸介电层,设置于所述辅助闸极与所述浮置闸极之间;源极区与汲极区,分别设置于所述堆叠结构与所述浮置闸极两侧的所述基底中,其中所述源极区邻接所述浮置闸极,所述汲极区邻接所述堆叠结构的第二侧,所述第一侧与所述第二侧相对;控制闸极,设置于所述源极区与所述浮置闸极上;以及闸间介电层,设置于所述控制闸极与所述浮置闸极之间。
地址 台北市松山区三民路166巷9号