主权项 |
一种非挥发性记忆体,包括:第一记忆胞,设置于基底上,所述第一记忆胞,包括:堆叠结构,包括依序设置于所述基底上的闸介电层、辅助闸极、绝缘层以及抹除闸极;浮置闸极,设置于所述堆叠结构的第一侧的侧壁,且所述浮置闸极的顶部具有转角部,所述转角部邻近所述抹除闸极,且所述转角部高度落于所述抹除闸极高度间;穿隧介电层,设置于所述浮置闸极与所述基底之间;抹除闸介电层,设置于所述抹除闸极与所述浮置闸极之间;辅助闸介电层,设置于所述辅助闸极与所述浮置闸极之间;源极区与汲极区,分别设置于所述堆叠结构与所述浮置闸极两侧的所述基底中,其中所述源极区邻接所述浮置闸极,所述汲极区邻接所述堆叠结构的第二侧,所述第一侧与所述第二侧相对;控制闸极,设置于所述源极区与所述浮置闸极上;以及闸间介电层,设置于所述控制闸极与所述浮置闸极之间。 |