| 主权项 |
一种检查装置，其特征为：具有：第1部分，其系藉由画像感测器取得成为检查对象的图案的光学画像；第2部分，其系对被分割成预定的单位区域的前述图案的检查区域，按每个前述单位区域，取得前述光学画像的输出值的平均值，作成前述检查区域中的前述平均值的分布；第3部分，其系由前述平均值的分布作成前述图案的形状的分布而将此进行保持；第4部分，其系取得前述单位区域中的各像素的前述输出值的变动值及不均的至少一方；第5部分，其系将前述输出值的变动值及不均的至少一方与临限值进行比较，来判定是否有缺陷；第6部分，其系保持在前述第5部分中被判定为缺陷的输出值的资讯；及第7部分，其系将来自前述第3部分及前述第6部分的资讯进行管理且解析，前述第1部分系具备有：对前述图案照射光的光源；及将在前述图案透过或反射的来自前述光源的光成像在前述画像感测器的透镜，依来自前述光源的光的波长与前述透镜的开口数而定的解析限度系对前述图案不进行解像的值。 |
